Металлическими прокладками

продукты измельчения загрязняются металлическими примесями частиц от мелющих тел футеровки, что требует дополнительных операций очистки;

При работе с сульфаминовым электролитом необходимо выполнять некоторые требования, вызванные тем, что загрязнения электролита механически, органическими и металлическими примесями приводят к увеличению внутренних напряжений. Электролит следует очищать от органических примесей обработкой активированным углем, от металлических — проработкой при малой плотности тока, от механических — фильтрацией. Увеличение внутренних напряжений в покрытии может вызываться также сульфат-ионами, образующимися при гидролизе сульфаминовой кислоты:

Очистка натрия в натриево-калиевом теплоносителе. Чаще всего натрий и его слав с калием загрязняются кислородом и металлическими примесями, наличие которых делает непригодными их в качестве теплоносителей ядерных реакторов. При эксплуатации реакторной установки нежелательные примеси в жидкометаллическом теплоносителе могут появляться вследствие коррозии контактирующегося с ним металла, растворения в нем водорода и графита или проникновения в систему воздуха. В теплоносителе (активная зона реактора) вредные примеси могут появляться в результате протекания ядерных реакций. Примеси эти могут быть растворимы и нерастворимыми.

обоих этих видов попадают в материал из тигля, в котором находился расплав, разливочного ковша или распыляющего сопла. Основными металлическими примесями в порошковых сплавах обычно являются алюминий и (в Hf-содержащих сплавах) гафний; кроме того, в материале обычно присутствует некоторое количество циркония, магния и кальция, зависящее от типа используемого огнеупора. Размер дефектов ограничен размером ячеек сита, через которое просеивается порошок, и практически не меняется в процессе горячего изостатического прессования. Как показано в табл. 17.1, средняя площадь керамических дефектов обычно составляет около 6500 мкм2 и лишь иногда достигает 32000—65000 мкм2.

Серьезные новые задачи возникают и в оснащении все усложняющихся производств методами контроля качества продукции, особенно в применении к пластинам. По мере увеличения степени интеграции твердотельных электронных устройств все острее ощущается потребность в новых высокоразрешающих, экспрессных, высокоинформативных и автоматизированных бесконтактных методах контроля, объективно характеризующих пригодность монокристаллов и пластин для решения новых задач. Требования по количеству и размерам присутствующих в монокристаллах и на поверхности пластин дефектов ужесточаются с каждым годом, и возможности традиционных оптических и электрофизических методов контроля уже практически исчерпаны. Необходим переход на метрологию нового уровня, с использованием возможностей сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии, а также других современных методов контроля структуры и свойств с субмикронным и нанометровым разрешением. При этом новые средства контроля должны хорошо вписываться в идеологию создания гибких, непрерывных, высокопроизводительных автоматизированных технологических линий. Весьма актуальной становится и проблема экспрессного контроля загрязнения поверхности пластин металлическими примесями с чувствительностью на уровне ~108 ат/см2.

Недостатками традиционных достаточно длительных высокотемпературных термообработок являются: дополнительное увеличение стоимости пластин; ухудшение качества их поверхности; возможность их искривления и загрязнения металлическими примесями; возможность генерации в них дислокаций. С этой точки зрения неоспоримыми преимуществами обладает быстрый термический отжиг, который, обеспечивая, как минимум, не худшие результаты, лишен большинства из перечисленных недостатков.

При получении высококачественных пластин широко используются процессы жидкостной очистки. При этом большое внимание уделяется рациональному выбору очищающих сред. Для решения различных задач (удаление частиц, снижение уровня загрязнений металлическими примесями, удаление следов фоторезиста и т. д.) используются различные очищающие растворы (табл. 2.2). Практически все они дают те или иные нежелательные побочные эффекты, и ни один из них не обеспечивает очистку от всех возможных типов загрязнений. Поэтому на практике используются различные сочетания очищающих растворов. Наиболее распространен так называемый RCA-очищающий процесс, который состоит из двух этапов. На первом из них используется раствор SC-1, который обеспечивает эффективную очистку поверхности пластины от посторонних частиц и органических загрязнений, а на втором - раствор SC-2,

В разработанных недавно весьма прогрессивных схемах очистки (см. рис. 2.2) предусмотрена индивидуальная обработка каждой пластины, сначала в жидкостном очистителе с вращающимися щетками, а затем в жидкостном очистителе с вращающимся и вибрирующим диском, на котором размещается очищаемая пластина, отмываемая с помощью специальных сопел активной водой. В качестве очищающих активных сред используют озонированную воду, электрически ионизированную (катодную) воду, а также разбавленную (0,5 %) плавиковую кислоту. Все операции осуществляются в особо чистых боксах, исключающих возможность загрязнений из окружающей среды. В результате удается получать пластины диаметром до 400 мм, характеризующиеся следующими показателями качества: уровень загрязнения поверхности металлическими примесями менее 5 • 108 ат/см2, число частиц размером > 80 нм менее 60 на пластину диаметром 400мм [10].

соответствующих технологических операций в автоматическом цикле; разработке экологически безопасных и эффективно очищающих сред, а также высокочувствительных методов контроля качества поверхности, в первую очередь, уровня загрязнений металлическими примесями и посторонними частицами субмикронных размеров; повышению технико-экономических показателей. При решении этих задач широко используются принципы международной кооперации с использованием возможностей передовых специализированных в соответствующих направлениях фирм и предприятий.

Яркой демонстрацией реализации такого рода тенденций является эазработанная недавно технология выращивания эпитаксиальных кремни-жых структур на подложках диаметром 400 мм [26]. В основу технологии положен процесс термического разложения силана, обеспечивающий высокие скорости роста при сравнительно низких температурах (850...950 °С). Использование низких рабочих температур облегчает решение задачи исключения образования в эпитаксиальных структурах полос скольжения и снижения уровня загрязнений металлическими примесями.

К основным нарушениям работы рафинировочных электролизеров относятся: холодный и горячий ход ванн, нарушение равномерности токовой нагрузки на катоды, загрязнение катодного металла металлическими примесями и зарастание стенок шахты ванны.

Алюминий высокой чистоты, полученный в рафинировочных электролизерах, транспортируется для дальнейшей переработки в литейное отделение электролизного цеха. Обычно такой металл отгружают потребителям в форме чушек или слитков. Для разливки алюминия высокой чистоты применяют обычное литейное оборудование — печь, литейную машину или разливочную машину конвейерного типа. Во избежание загрязнения алюминия металлическими примесями это оборудование не используют для разливки металла технической чистоты.

Более рациональным с точки зрения уменьшения неравномерности распределения нагрузки по длине зуба является неконсольное расположение шестерни. Однако такие конструкции сложнее. Дополнительную опору размещают в стакане или в специально выполненной внутренней стенке редуктора. Так как зубья конической шестерни нарезают на валу, то посадочный диаметр под подшипник дополнительной опоры оказывается небольшим. Рядом расположенное колесо конической зубчатой передачи ограничивает радиальные размеры этой опоры. Возможный вариант конструкции с расположением дополнительной опоры в стакане показан на рис. 14.5. Жесткость узла в этом случае достаточно высокая и с целью снижения потерь на вращение можно использовать шариковые радиально-упорные подшипники в фиксирующей опоре и радиальный подшипник в плавающей опоре. Регулировку подшипников фиксирующей опоры осуществляют тонкими металлическими прокладками У, конического зацепления — металлическими прокладками 2.

ческого редуктора выполняют симметричным относительно оси входного вала, поэтому коническое колесо на выходном валу располагают ближе к той опоре, которая находится дальше от выходного конца вала. Так как на конце вала действует консольная нагрузка, то при гаком расположении колеса достигается более благоприятное распределение сил между подшипниками. Регулировку радиально-упорных подшипников выполняют тонкими металлическими прокладками

На рис. 12.23 показана конструкция выходного вала соосного цилиндрического редуктора с внутренним зацеплением. Колесо при сборке доводится до упора в торец буртика. Подшипники устанавливают «враспор», осевой зазор обеспечивают тонкими металлическими прокладками / при применении привертных крышек или компенсаторным кольцом - при уста новке закладных крышек.

Возможный вариант конструкции с расположением дополнительной опоры в стакане показан на рис. 12.9. Жесткость узла в этом случае достаточно высокая, и с целью снижения потерь на вращение можно использовать шариковые радиально-упорные подшипники в фиксирующей опоре и радиальный подшипник в плавающей опоре. Регулирование подшипников фиксирующей опоры выполняют тонкими металлическими прокладками 7, конического зацепления — металлическими прокладками 2.

В соосных цилиндрических редукторах с внешним зацеплением выходной вал можно выполнять так, как показано на рис. 12.23. Вращающий момент передают с зубчатого колеса на вал соединением с натягом. Колесо располагают на валу симметрично относительно опор. Подшипники устанавливают «враспор». Осевой зазор обеспечивают тонкими металлическими прокладками 7, подкладываемыми под фланцы привертных крышек на входном и выходном валах редуктора (рис. 12.23, а), так как при конструктивном оформлении промежуточной опоры по рис. 7.51, в эти валы образуют общую систему. В случае применения закладных

Конструктивные разработки, улучшающие напряженно-деформированное состояние верхней зоны балок, базирующиеся на изучении непосредственных контактов между верхним поясом балки и подошвой рельсов, привели к разработке конструкции гибкого крепления рельсов через стальные прокладки с выпуклой к низу цилиндрической поверхностью, которые устанавливаются по всей длине рельса. Опыт применения балок с такими креплениями рельсов показал их высокую эксплуатационную надежность. Местные суммарные напряжения в балках при использовании прокладок с цилиндрическим основанием уменьшаются в 4-5 раз (рис.6.4, тип 21). Препятствие к широкому использованию креплений рельсов с металлическими прокладками - отсутствие промышленного производства прокладок и гибких прижимов.

На рис. 12.23 показана конструкция выходного вала соосного цилиндрического редуктора с внутренним зацеплением. Колесо при сборке дово1 дится до упора в торец буртика. Подшипники устанавливают «враспор», осевой зазор обеспечивают тонкими металлическими прокладками / при применении привертных крышек или компенсаторным кольцом — при установке закладных крышек.

X Ю~9—---сохраняется в течение 90—100 ч). Такие характеристики получены за счет следующих конструктивных решений аналитической части прибора: вакуумные уплотнения выполнены в виде клиновых уплотнителей с металлическими прокладками; вакуумная полость камеры анализатора имеет трехступенчатую защиту от паров масла диффузи-

На рис. 21 показаны схемы конструкций разъемных соединений с уплотнениями металлическими прокладками. Система сопряжения труб, приводимая в работе [15], представлена на рис. 21, а. Трубы с малым внутренним диаметром (от 3 до 12 мм) можно снабдить вакуумплотным соединением по

Рис. 21. Типы разъемных вакуумплотных соединений с металлическими прокладками:

Задвижка имеет клиновой двухдисковый затвор. Для обеспечения более высокой степени герметичности имеется возможность подачи уплотняющей воды в среднюю полость. Для исключения возрастания давления в замкнутой полости корпуса задвижки при использовании ее в системах, где может повышаться температура среды в корпусе при закрытом положении затвора, в одной из тарелок затвора имеется отверстие, в которое устанавливается пакет дроссельных шайб, ограничивающих расход уплотняющей воды. Соединение корпуса с крышкой уплотняется двумя металлическими прокладками, кроме того предусмотрена сварка на «ус». Сальник задвижки выполнен двухступенчатым с отводом возможных протечек, кольца сальника — прессованные асбестогра фитовые марки АГ-50. Для исключения контактной коррозии шпинделей во время хранения задвижки поставляются с сальниковой набивкой марки АС, пропитанной водоглицериновым раствором нитрата натрия. Штатная набивка АГ-50 устанавливается при монтаже. Задвижки управляются электроприводом с двигателем мощностью 23 кВт. Масса задвижки 7200 кг.