|
Главная | Контакты: Факс: 8 (495) 911-69-65 | | ||
Плоскости ортогональнойСлитки монокристаллического кремния (ТУ 48-4-295—82), предназначенные для производства полупроводниковых приборов и микросхем, получают методом Чохральского (К) (ОКП 17 7211) с ориентацией продольной оси монокристаллического слитка [111], [100],[013] диаметром42i— 102,5±мм и базовой длиной 60—150 мм или бестигелыюй зонной плавкой (БК) (ОКП 177221) с ориентацией [111 [диаметром 23—46 мм и длиной 40—70 мм. Отклонение плоскости торцового среза слитка кремния от плоскости ориентации (а) не должно превышать 3°. Концентрация атомов оптически активного кислорода (No,,) должна быть не более 1 • 1023 м~3 в слитках кремния, полученных бестигельной зонной плавкой, и 7- Ю23 м~3 в слитках, полученных методом Чохральского. (марки ЭКЭС) — электронного электрической проводимости (Э) с плот, ностью дислокаций не более 105 м-з" Ориентация продольной оси монокрис.' таллического слитка кремния [Цм° или [100]. Предельное отклонение плоскости торцового среза монокри. сталлических слитков от плоскости ориентации не "должно превышать 3° Номинальные диаметры слитков 62,5+3* 78,5±§ и 102,513 мм. Концентрация кис-' лорода в слитках кремния диаметром 62,5 и 78,5 мм не должна превышать 7-1023м~3, а в слитках диаметром 102,5 мм — 1 • 1024 м~3. Слнткн кремния с удельным электрическим сопротивле-•нием более 0,03 Ом-м должны иметь время жизни неравновесных носителей заряда: длн электронного типа электрической проводимости — не менее 7,5 мкс, для дырочного — не менее 2,5 мкс. Десять групп марок слитков монокристаллического кремния характеризуются различным номинальным удельным электрическим сопротивлением (0,00005—0,4 Ом-м), относительным отклонением средних значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения на 20—40 % и различным относительным отклонением удельного электрического сопротивления от среднего значения по торцу слитка на 10—20%. „Слиткн монокристаллнческого кремния марки БО имеют диаметр 54± ±0,05 мм, длину не менее 100 мм. Ориентация продольной оси монокристаллического слитка [111]; отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 2°. Слитки имеют электронный тип электрической проводимости, интервал УЭС !,30—1,50 Ом- м, время жизни неравновесных носителей заряда не менее 70 мкс. Плотность дислокаций не более Ю5 м~а. Свирлевые- дефекты отсутствуют. Концентрация атомов оптически активного кислорода неболее 1- 1022м"г, оптически активного углерода не более 4-1022м-3. Слиткн монокристаллического кремния марки КОФ имеют диаметр 44, 54, 60 либо 84 мм с погрешностью ±1 мм, Ориентация оси слитка [111], отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более За, Имеются два интервала" номинальных значений УЭС: 0,40—2,00 и 2,10— 3,50 Ом-м. Время жизни неравновесных носителей заряда (втике) должно быть не менее половины УЭС (в Ом-см) Для номинальных значений УЭС 0,70— •'.ОО Ом'М и не менее 30 мкс для номинальных значений УЭС 0,40—0,60 J-'M-M. Время жизни неравновесных носителей заряда в слитках с номи- таллического слитка [111], отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 3°. Плотность дислокаций ие более 5-108 м~2; концентрация атомов оптически активного кислорода не более 2-1022 м~3. Удельное электрическое сопротивление марок кремния дырочного типа электрической проводимости (КМД) и электронного типа электрической проводимости (КМЭ) приведено в табл. 79. Допустимое относительное отклонение УЭО от среднего значения по длине слитка ие более 35 %; время жизни неравновесных носителей заряда не более 500 мкс для всех марок. Ориентация продольной оси монокристалли--ческого слитка [111], отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 3°. Плотность дислокаций не более 4-Ю8 см~2; концентрация атомов оптически активного кислорода не более 2-Ю22 м~3. Монокристаллы германия, предназначенные для производства полупро-водииковых приборов, легированные сурьмой, изготовляют (ГОСТ 16153— 80) электронного типа электрической проводимости (ГЭ) и легированные галлием дырочного типа электрической проводимости (ГД), Диаметр моно-кристаллическнх слитков 28—40 мм, длина не менее 50 мм. Интервал номинальных УЭС 0,001—0,45 Ом-м. Ориентация продольной оси монокристаллического слитка [111]; предельное отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 2°, иого (Д) типа электрической проводимости. Ориентация продольной оси монокристаллического слитка [П1]; отклонение плоскости торцового среза он плоскости ориентации не более 3°, Некоторые электрофизические свойства германия приведены в табл. 81. Моно-кристаллические слитки выращивают! диаметром 18—35 мм и длиной ев, 30 мм. от плоскости ориентации не более 3°. Подвижность основных носителей заряда должна соответствовать табл. 84. Арсенид галлия, легированный кремнием, выпускается пяти марок (АГНК-1—АГНК-5) с номинальной концентрацией ОНЗ 9-10й—3,5 X X 1024 м~3; подвижность ОНЗ не ниже 0,12 ма/(В-с). Плотность дислокации Ы0°— ЫОвм-2. среза от плоскости ориентации не должно превышать 3°. Антимонид индия (ТУ 48-4-292—85) Поликристаллический и монокристал-лический, предназначенный для производства фотосопротивлений и других полупроводниковых приборов, получают по методу Чохральского с ориентацией продольной оси слитка [211]. Отклонение плоскости торцового среза °т плоскости ориентации не более 3°. Вследствие этого схема расположения сечений волокон четвертого семейства в ортогональной им плоскости 2 3 должна соответствовать гексагональной упаковке. Действительно, проекции смещения волокна, параллельного оси 1, вдоль волокон остальных трех семейств на плоскость 2 3 равны и направлены друг к другу под углом 120°. Расстояние между ближайшими сечениями волокон семейства, ортогонального плоскости 2 3, легко определить с учетом (3.63) из соотношения Нетрудно убедиться с учетом (3.60), что расстояние между ближайшими сечениями волокон k-ro семейства в плоскости, ортогональной их направлению В системе координат 123, связанной с одним из направлений волокон, модули сдвига были рассчитаны в диагональной плоскости куба и в плоскости, ортогональной ей. В первой из этих плоскостей модуль сдвига вдоль волокон 0~~ = 0,23G0, а во второй Для волокнистых композиций с двухмерной периодической решеткой будут только два базисных вектора, расположенных в плоскости, ортогональной к направлению волокон, однако и -будет обладать аналогичными свойствами. Вследствие этого схема расположения сечений волокон четвертого семейства в ортогональной им плоскости 2 3 должна соответствовать гексагональной упаковке. Действительно, проекции смещения волокна, параллельного оси 1, вдоль волокон остальных трех семейств на плоскость 2 3 равны и направлены друг к другу под углом 120°. Расстояние между ближайшими сечениями волокон семейства, ортогонального плоскости 2 3, легко определить с учетом (3.63) из соотношения Нетрудно убедиться с учетом (3.60), что расстояние между ближайшими сечениями волокон k-ro семейства в плоскости, ортогональной их направлению В системе координат 123, связанной с одним из направлений волокон, модули сдвига были рассчитаны в диагональной плоскости куба и в плоскости, ортогональной ей. В первой из этих плоскостей модуль сдвига вдоль волокон 0~~ = 0,23G0, а во второй где г„ и гпр - соответственно расстояния в металле и призме преобразователя, мм; а -радиус (полуширина) пьезоэлемента в плоскости, ортогональной плоскости про-звучивания, мм; X - длина волны УЗ-колебаний, мм. Предположим, что_главная нормаль к нити (вектор _е2) и нормаль к поверхности (е20) не совпадают. Векторы ez и е20 лежат в плоскости, ортогональной к вектору elt поэтому qt == 0. Уравнение равновесия элемента нити имеет вид Рассмотрим вначале наиболее простой случай, когда все величины зависят от одной пространственной переменной, например л;, а на любой плоскости, ортогональной оси х, каждая величина принимает единственное значение. Это дает основание называть •такие течения одномерными течениями с плоской симметрией. При увеличивающейся деформации растяжения материала напряжение, требуемое для его пластического деформирования, возрастает, а с некоторого значения деформации убывает. Значение максимальной нагрузки, деленное на исходную площадь образца в плоскости, ортогональной приложенному напряжению, называется пределом прочности при растяжении. Материалы, в которых перед разрушением происходит значительная пластическая деформация, называются пластическими. Если же пластическая деформация перед разрушением отсутствует, материал называется хрупким. Рекомендуем ознакомиться: Параллельности направляющих Перемещение заготовки Перемещении подвижного Перемещению наконечника Переменный коэффициент Переменные контактные Переменных циклических Переменных коэффициентов Переменных механических Переменных определяющих Переменных составляющих Параллельно направляющей Переменными нагрузками Переменным электрическим Переменным напряжениям |