|
Главная | Контакты: Факс: 8 (495) 911-69-65 | | ||
Скоростей используютТонкие слои из газовой и паровой фазы наносят на подложку. В первом случае элемент пленки высаживают на поверхность в результате реакции диссоциации химического соединения, в котором связан элемент при высоких температурах, или вследствие реакций восстановления химического соединения наносимого элемента. Тонкий слой из паровой фазы получают путем сублимации элемента в условиях вакуума и последующего его осаждения на подложку. Тонкие слои полупроводникового материала можно наносить также в вакууме в изотермических условиях при переносе парообразного вещества на близкие расстояния. Этот способ основан на разнице скоростей испарения и взаимной диффузии наносимого элемента и материала подложки. средних скоростей испарения меди. Как видно из этой таблицы, коэффициент поверхностной диффузии и скорость испарения для меди при одинаковых температурах отжига зависят от степени разрежения, причем обе эти величины выше для степени разрежения 5-10~~2 мм рт. ст. В табл. 3 приведены величины давления паров и скоростей испарения различных металлов, вычисленные по уравнению (7). Кроме того, в этой же таблице даны значения температур плавления материалов и соответствующие им давления паров металлов. Данные табл. 3 позволяют определять 24 примерные режимы выявления строения металлов при испарении в вакууме, В случае вещества, пары которого состоят из нескольких газообразных продуктов, как это имеет место у графита, полная скорость испарения определяется как сумма скоростей испарения отдельных компонент, рассчитанных по кинетическому уравнению Кнудсена — Ленгмюра (гл. 6). При этом необходимо знать коэффициенты аккомодации (испарения) для каждой из компонент. Для графита, исходя из имеющихся опытных данных [Л. 7-16], обычно принимают следующие значения: ас=0,3, ас = 0,5ч-1,0; ас = 0,02, а для всех остальных компонент — меньше 10~2. Однако расхождения между данными различных авторов весьма значительны, ниже мы проанализируем влияние этих коэффициентов на скорость сублимации. Данные рис. 8-9 говорят об очень слабом (в пределах 3%) изменении ACWQ' во всем интересующем практику диапазоне скоростей испарения. Поскольку, как уже говорилось, изменение Gw происходит в весьма узком интервале температур, при расчетах скорости испарения можно Коллоу [40,41 ] определил из скоростей испарения активности щелочных оксидов и РЬО в расплавах с кремнеземом в качестве второго компонента. С помощью уравнения Гиббса — Дюгема были вычислены активности кремнезема. Данные измерений скоростей испарения (или времени существования капель) удовлетворительно совпадают с результатами расчета по диффузионной теории, если только На рис. 7 показаны кривые сушки, а на рис. 8 — кривые скорости сушки для кирпича из глин различных месторождений при сушке в естественных условиях. Из кривых скорости сушки видно, что при сушке в естественных условиях и даже в условиях незначительных скоростей испарения четкого разграничения процесса сушки на отдельные периоды не наблюдается. Изменение скорости сушки выражается плавными кривыми с наибольшей скоростью в начале процесса. Величина наибольшей скорости сушки даже для кирпичей из тощих глин не превышает 0,13% /час (см. рис. 8, кривая 2). Константы скоростей испарения примесей из жидкого металла при давлении 0,133 н/м2 (10~3 мм рт. ст.) При вакуумной плавке происходит испарение химических элементов из ванны, которое зависит от давления в камере печи, температуры металла, удельной поверхности контакта, упругости пара элемента и длительности процесса плавки. Константы скоростей испарения примесей из жидкого металла, по данным Б. В. Линчевского, приведены в табл. 22. Высокочастотная неустойчивость обычно зависит только от характеристик камеры и параметров внутрикамерного процесса, так как она возникает в результате взаимосвязи между процессом горения и акустическими характеристиками камеры. Таким образом, на нее влияют и свойства компонентов топлива, и геометрические параметры камеры сгорания. К свойствам топлива, играющим важную роль, относятся те, что связывают динамическую реакцию процесса горения с возмущениями в камере сгорания. Эта реакция определяется чувствительным к давлению временем запаздывания [30], которое зависит от летучести и самовоспламеняемости компонентов топлива, степени распыления, давления в камере сгорания и соотношения компонентов. Конструкция камеры сгорания не только определяет характерные акустические частоты, но и оказывает значительное влияние на разность АУ скоростей газа и капель компонентов топлива, определяющую скорости испарения. Наиболее чувствительной к возникновению высокочастотной неустойчивости является зона, где величина АУ минимальна, т. е. пространство вблизи смесительной головки шириной в несколько сантиметров [9]. Типичные кривые скоростей испарения приведены на рис.93. Условие равенства скоростей используют РИС. 10.5 Постоянные угловые с к о р о с т и измеряют при разовых эксплуатационных испытаниях преимущественно счетчиками частот вращения и центробежными тахометрами. Для более точного измерения угловой скорости и особенно скольжения (например, в ременной передаче) применяется стробоскопический метол,. По удобству использования он уступает электрическим. Для переменных угловых скоростей используют измерения с помощью электрических генераторов (униполярных машин или коллекторных генераторов). При построении планов скоростей используют следующие приемы. Наряду с напорными трубками для измерения скоростей используют термоанемометры и лазерные анемометры. Для обозначения углов и скоростей используют двойную нумерацию: первый индекс характеризует сечение в венце, второй — номер венца. е > 1,5-г-2,0. При этом даже в случае сверхзвуковых скоростей используют суживающиеся сопла с расширением в косом срезе. В одновенечных регулировочных ступенях принимают скоростную характеристику v,j, = 0,34-4-0,40. Эти значения примерно соответствуют максимальному внутреннему КПД такой ступени с учетом малых высот облопатывания, малой степени впуска и т. д. При построении планов скоростей используют следующие, приемы. При построении планов скоростей используют следующие приемы: Валы на двух опорах. При наличии многих дисков для практического определения критических скоростей используют приближенный метод, подобный изложенному для стержней с сосредоточенными массами (стр. 401). Для вра- Для анализа различных аспектов работы центробежного насоса, кроме указанных скоростей, используют проекцию абсолютной скорости v2 на направление окружной скорости U2. Эта величина обозначена на рис. 16.2 вектором v2U. Также используют и проекцию абсолютной скорости v2 на направление радиуса. Эта величина обозначена на рис. 16.2 вектором v2R. Условие равенства скоростей используют для выбора параметров зацепления. Например, из формул (10.16) и (10.15) получим зависимость для определения угла профиля в любой точке контакта (при любом (р): Рекомендуем ознакомиться: Скоростью вследствие Скоростях деформации Скоростях кристаллизации Скоростях применяют Скоростях соударения Скоростями нагружения Скоростями значительно Сближение поверхностей Скоростей истечения Скоростей нагружения Скоростей окисления Скоростей основного Скоростей перемещений Скоростей поскольку Скоростей продольных |