Вакуумного оборудования

двухэлектродный полупроводниковый прибор, действие к-рого обусловлено св-вами p-n-перехода (наиболее обширный класс П.д.), контакта металл - полупроводник либо объёмными эффектами в однородном ПП (напр., Ганна диод). По конструк-тивно-технол. особенностям различают плоскостные П.д., изготовленные методами диффузии и вплавления примесей, ионной имплантации, эпитаксиального наращивания, вакуумного напыления и др., и точечные П.д., получаемые прижатием к ПП кристаллу пружинящей металлич. иглы. П.д. применяются в широком диапазоне радиочастот (вплоть до сотен ГГц) гл. обр. для выпрямления перем. тока (выпрямит. ПП диоды), генерирования и усиления электрич. колебаний (напр., ла-винно-пролётные, туннельные и па-раметрич. диоды), преобразования частоты (смесит, и умножит. СВЧ ди-

ШОССЕ (франц. chaussee), шоссейная дорога, - дорога с твёрдым (ж.-б., асфальтовым, асфальтобетонным и т.п.) покрытием для движения в осн. автомоб. транспорта. ШОТТКИ ДИОД - полупроводниковый диод, действие к-рого осн. на использовании св-в контакта металл -полупроводник; назван по имени нем. учёного В. Шоттки (W. Shottky), создавшего в 1938-39 основы теории таких диодов. При изготовлении Ш.д. обычно на очищенную поверхность ПП кристалла (кремния, арсенида галлия, реже германия) наносят тонкий слой металла (золота, алюминия, платины) методами вакуумного напыления либо хим. или электролитич. осаждения. Ш.д. могут работать на более высоких частотах, чем аналогичные диоды с р - п-переходом (вплоть до субмиллиметрового диапазона волн); характеризуются низким уровнем ВЧ шумов. Используются гл. обр. в СВЧ технике в качестве детекторных, лавинно-пролётных, пара-метрич., смесит, и умножит, диодов, а также как импульсные и выпрямит, диоды. Кроме того, Ш.д. применяются в монолитных интегральных схемах.

Главной особенностью вакуумного напыления методом конденсации ионной бомбардировкой (КИБ) является возможность подготовки поверхности образца путем ее очистки в тлеющем разряде, а также бомбардировкой ускоренными ионами. Бомбардировка ускоренными ионами приводит к частичному распылению материала образца, внедрению ионов в поверхностный слой и создает благоприятные условия для повышения адгезионной прочности покрытия с основой. Состав осажденного покрытия и прочность его сцепления с основой определяются составом газовой среды, содержанием остаточных элементов (СО2, О2, Н2О), уровнем вакуума и качеством подготовки поверхности. Для подготовки образцов перед напылением наиболее предпочтительна виброабразивная обработка с последующей очисткой в ультразвуковой ванне. Затем образцы следует промыть в горячей ванне и высушить в струе горячего воздуха.

134. Никитин ММ. Технология и оборудование вакуумного напыления. М.: Металлургия, 1992. 112с.

Катодное поведение электростатических и электрофоретических алюминиевых покрытий подобно поведению чистого алюминия. Они сильно поляризуются уже при малых плотностях тока и имеют достаточно высокое перенапряжение выделения водорода. Электрофорети-ческие алюминиевые покрытия обладают наибольшим значением перенапряжения водорода по сравнению с покрытиями, полученными ciu. собом электростатического и вакуумного напыления. При получении покрытий из порошковых материалов на электрохимические свойства

ПЕЧАТНЫЙ МОНТАЖ — способ монтажа электронной аппаратуры, при к-ром соединения электро- и радиоэлементов, в т. ч. экранирующих, выполняют посредством тонких электропроводящих полосок с контактными площадками, расположенных на печатной плате. Соединения получают методами g5omojiumo8pao5uu, вакуумного напыления и др. Часто производят П. м. на многослойных печатных платах, позволяющий получить большое число соединений на ед. площади. П. м. применяют при изготовлении малогабаритной радиоэлектронной аппаратуры.

способом вакуумного напыления. Температура полосы достигает 650 °С. Источником реперного сигнала в этом толщиномере является радиоактивный туллий шАт (0,93 ГБк), размещенный в измерительном преобразователе. Пучок излучения этого нуклида взаимодействует непосредственно с чувствительной поверхностью сцинтибло-ка, при этом пик полного поглощения формирует реперный сигнал для системы стабилизации коэффициента усиления, что позволяет охватить обрат-

Эвтектическая диффузионная пайка боралюминия. Для соединения деталей из боралюминия между собой или с элементами конструкций из алюминиевых сплавов возможно использование способа эвтектической диффузионной пайки, заключающегося в нанесении тонкого слоя второго металла, образующего в результате взаимной диффузии эвтектику с металлом матрицы. В зависимости от состава матричного алюминиевого сплава могут быть использованы следующие металлы, образующие эвтектику: серебро, медь, магний, германий, цинк, имеющие температуры образования эвтектик с алюминием 566, 547, 438, 424 и 382° С соответственно. В результате дальнейшей диффузии металла покрытия в основной металл концентрация его снижается, и температура плавления в зоне соединения постепенно повышается, приближаясь к температуре плавления матрицы. Таким образом, паяные соединения способны работать при температурах, превышающих температуру пайки. Однако необходимость строгого регламентирования толщины покрытия, а также чистоты покрытия и покрываемой поверхности, использование для получения таких покрытий метода вакуумного напыления делают этот процесс экономически нецелесообразным.

вакуумного напыления); с высокой адгезией к подложке. Коррозионная стойкость ионных покрытий из феррохрома и меди в агрессивных средах выше, чем гальванических и вакуумных хромовых покрытий.

Метод вакуумного напыления

Метод вакуумного напыления пленок сегнетоэлектриков имеет несколько вариантов. Однако общие положения для всех вариантов одинаковы.

тов и конструктивных узлов состояло из готовых стандартизованных элементов вакуумного оборудования.

Дальнейшее развитие теплового моделирования радиационного теплообмена должно протекать в направлении расширения его возможностей и устранения существующих недостатков. В частности, в отношении устранения помех от теплопроводности и конвекции среды можно отметить следующее. Прежде всего, помещение тепловой модели в вакуумированное пространство сразу устраняет мешающее влияние теплопроводности и конвекции. Однако это существенно усложнит и удорожит модель, так как потребует наличия вакуумного оборудования. В ряде случаев на это приходится идти, например, при тепловом моделировании различных космических объектов, облучаемых Солнцем и Землей. Во-вторых, путем поднятия температурного уровня в модели можно увеличить интенсивность радиационного теплообмена по сравнению с сопутствующими теплопроводностью и конвекцией и тем самым снизить их относительную роль. Это приведет к снижению ошибок, но одновременно повлечет за собой и усложнение модели за счет повышения электрической мощности, увеличения расхода охлаждающей воды, усиления тепловой изоляции и пр. И, наконец, третья возможность — это приближенный расчет влияния теплопроводности и конвекции в тепловой модели, предназначенной для исследования радиационного теплообмена. Естественно, при этом не следует забывать об условности и приближенности такого оценочного расчета и переоценивать его значение.

ностей турбины и ее вакуумного оборудования. Поэтому при появлении подсосов воздуха в первую очередь необходимо обследовать узлы, в которых и ранее они наблюдались. Характерными местами подсосов воздуха в вакуумную систему турбоустановки являются:

Центр автоэмиссионных технологий имеет парк современного вакуумного оборудования, в том числе: цельнометаллические вакуумные установки, в том числе с безмасляным вакуумом Leibold PT201 Dry; сверхвысоковакуумная универсальная установка УСУ-6; специально разработанные металлические вакуумные установки для проведения исследований в высоком техническом вакууме; большое число металлических автоэлектронных проекторов и другого вакуумного оборудования (высоковольтные и сильноточные вводы, вводы перемещения и вращения, внутрикамерная арматура); оборудование для изготовления отпаянных стеклянных приборов: вакуумный пост для одновременной откачки шести стеклянных приборов, оборудование для обез-гаживания и распыления геттеров, сварочно-монтажное оборудование (электроконтактная и лазерная сварка), течеискатель; вакуумные универсальные напылительные посты ВУП-5.

Некоторые фирмы выпускают компрессорные опреснители, работающие при весьма малом вакууме (не более 25—30%). Это позволяет сохранить атмосферное давление на стороне греющего пара и уменьшить возможные неполадки, связанные с установкой вакуумного оборудования. Однако столь незначительный вакуум проблемы борьбы с накипью не решает.

вакуумного оборудования и приобретение более чистых сырьевых материа-

В результате физические свойства металлов удалось опредечить еще точнее. К известным достижениям в этой области относятся дуговая плавка и электронно-лучевая плавка в вакууме или в инертных средах, улучшение вакуумного оборудования и приобретение более чистых сырьевых материалов, из которых получают незагрязненные металлы.

Возросшая потребность в суперсплавах и появление усовершенствованного вакуумного оборудования стали причиной 122

К недостаткам метода относятся: необходимость использования вакуумной среды при обработке любых материалов; ограниченный круг выполняемых операций; высокая стоимость высоковольтного и вакуумного оборудования.

3. Левина Л.Е., Пименов В.В. Методы и аппаратура контроля герметичности вакуумного оборудования изделий приборостроения. М.: Машиностроение, 1985.68 с.

цитности вакуумного оборудования широкий переход от сварки плавлением к диффузионным способам сварки дело далекого будущего. Это вовсе не так. Во-первых, вакуумная техника в наши дни развивается невиданно быстрыми темпами. Вакуумная техника прочно входит в самые различные отрасли индустрии. Во-вторых, наличие переходного слоя (припоя), способного растворять окисную пленку, позволяет производить сварку при относительно небольшом вакууме. В отдельных случаях, по-видимому, можно будет обойтись и без вакуума, прибегнув к защитной газовой атмосфере, нейтральной или восстановительной. Словом, будущее за сваркой жаропрочных сталей и сплавов без их расплавления.